1)系统误差也叫可测误差，一般包括仪器的本身波动；样品的给定值和实际值存在一定的偏差（标准样品的元素定值方法可能和实际检测方法不一致，这样检测结果会有方法上的差异；同一种方法的检测结果也存在一定的波动）；待测样品和系列标样之间存在成分的差异，可能导致在蒸发、解离过程中的误差，如背景强度的差别和基体蒸发的差异等。
2)偶然误差是一种无规律性的误差，如试样不均匀；检测时周围的温湿度、电源电压等的变化；样品本身的成分差异等。
3)过失误差是指分析人员工作中的操作失误所得到的结果，可以避免。如制样不准
光电光谱检测分析存在的误差在所难免，要正确的认识误差，查找误差存在的原因，采取有效的措施消除误差。光谱检测分析误差除受上面几种因素的影响外，还有以下几种因素的影响： 1.人的因素： 操作者的意识、责任意识、操作技术、水平高低、熟练程度等都会影响检测的效果； 2.设备因素： 比如设备的状态是否优良、是否定期检测和维护，光源性能稳定性如何，氩气供气系统是否稳定，试样加工设备状况是否正常、是否对加工设备进行定期维护保养等，都会一定程度上影响检测结果的准确性。 3.样品试样因素：比如待测试样成分是否均匀，是否具有试样的代表性，热处理状态和组织结构状态是否正常，标准试样的成分和控制试样的成分是否均匀，光谱检测仪多少钱，成分含量的标准值是否---，组织结构是否统一、磨制样品方法是否规范、效果是否有效等等，都是影响其检测效果的关键因素。 4.分析方法因素：在分析方法上，分析曲线制作及拟合程度是否达标，标准化过程及效果是否，控样选择是否规范，定值是否严格等等，都一定程度上影响着检测效果。 5.环境因素：比如检测所在分析室的温度、湿度是否正常，受否受电磁干扰的影响，所处环境是否清洁卫生，是否具备检测要求的条件稳定的操作环境，只有有了---的检测环境，才能为检测结果的准确性提供保障。 直读光谱仪可以有不同的划分方法。 根据光栅所处的环境不同，可分为真空型和非真空型直读光谱仪，其中非真空型直读光谱仪又可分为空气型直读光谱仪（无法测定真空紫外波段的c、p、s、as等元素含量）和充惰性气体型直读光谱仪（可以测定真空紫外元素）； 根据仪器的结构不同，又可分为多道直读光谱仪和全谱直读光谱仪，其中前者多采用光电倍增管作为检测器，后者多采用阵列检测器（如ccd）。 随着ccd技术的不断发展，直读光谱仪开始朝小型化、全谱型方向发展。小型化仪器功耗小，占用空间小且易于维护；全谱直读光谱仪能够获得全波段范围内的光谱，满足多基体分析要求，谱线选择灵活，可以有效扣除光谱干扰，分析，而多道直读光谱仪只能检测有限数量的光谱，很难做到这一点。
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