1)系统误差也叫可测误差，一般包括仪器的本身波动；样品的给定值和实际值存在一定的偏差（标准样品的元素定值方法可能和实际检测方法不一致，这样检测结果会有方法上的差异；同一种方法的检测结果也存在一定的波动）；待测样品和系列标样之间存在成分的差异，可能导致在蒸发、解离过程中的误差，如背景强度的差别和基体蒸发的差异等。
2)偶然误差是一种无规律性的误差，如试样不均匀；检测时周围的温湿度、电源电压等的变化；样品本身的成分差异等。
3)过失误差是指分析人员工作中的操作失误所得到的结果，可以避免。如制样不准
直读光谱仪是一种精密的分析仪器，利用不同元素的原子被电极激发后会发出不同的特征光谱这一原理，对被测样品的组成和含量进行分析和测定。直读光谱仪具有一次分析元素多、分析范围广、分析速度快、操作方便、检测精度高的特点，在冶金铸造、钢铁及有色金属行业炉前快速分析中广泛应用，在汽车、航空航天、机电、机械、石油化工等各领域的金属材料对其元素进行的定量分析。需要---的是，光谱定量分析会受人员、环境、仪器性能等多种因素的影响，从而使检测结果有失准确性，火花光谱仪价格，分析结果存在一定偏差。为提高检测结果的准确性，必须不断地研究、分析、总结，采取有效的措施来提高直读光谱仪检测结果的准确性。 直读光谱仪在检测分析过程中由于各种因素的影响产生误差是在所难免的，比如标准样品和分析样品成分不均匀、组织状况不一致、光谱性能不稳定、样品表面处理不好、氩气纯度不够等一个因素出现问题，就会影响到光电光谱分析误差。了解其产生误差的原因，采取有效的措施进行消除或避免误差，提高直读光谱仪检测结果的准确性，是一项十分重要的研究课题。
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