1)系统误差也叫可测误差，一般包括仪器的本身波动；样品的给定值和实际值存在一定的偏差（标准样品的元素定值方法可能和实际检测方法不一致，这样检测结果会有方法上的差异；同一种方法的检测结果也存在一定的波动）；待测样品和系列标样之间存在成分的差异，可能导致在蒸发、解离过程中的误差，如背景强度的差别和基体蒸发的差异等。
2)偶然误差是一种无规律性的误差，如试样不均匀；检测时周围的温湿度、电源电压等的变化；样品本身的成分差异等。
3)过失误差是指分析人员工作中的操作失误所得到的结果，可以避免。如制样不准
清洗激发台的内表面，主要是避免残留内壁的粉尘放电影响分析结果。通常每激发100—200次应清理一次。电极与激发面之间的距离，必须按极距要求调整好，如果与激发面的距离太大，试样不易激发，如果电极与激发面的距离太小，---时放电电流太大，以至于与仪器各参数不相匹配，使测定结果与实际结果之间有差异，影响测定的准确性。因此必须将电极与激发面的距离调整准确，清洗激发台和电极后一定要重视这个问题。 工作曲线的标准化操作和描迹操作 标准化操作每班进行一次。如果操作人员认为激发标钢分析结果稳定，可以用上个班的标准化数据。 在分析过程中个别元素偏离太大时，可以再实行标准化，---分析结果的准确。 标准化操作时，研磨标准化样品较---新的砂轮片面。 、标准化过程中，要检查标准化样品的号码，按需要输入。不可粗心大意的输入。 、标准化操作完成以后，要检查一下系数和补偿值，与上一次做对比，不要变动太大。
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